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开元体育官方刻蚀及去PSG工艺及非常处置
发布时间:2024-01-05 18:38 来源:网络

  因为在分散实践中,纵然采取面对面的单面分散体例,硅片的全部外表(包罗边沿)都将弗成制止地分散上磷。PN结的反面所搜集到的光生电子会沿着边沿分散有磷的地区流到PN结的后背,而形成短路,此短路通道等效于下降并联电阻。

  因为在分散实践中氧的通入,在硅片外表构成一层SiO2,在低温下POCl3与O2构成的P2O5,部门P原子投入Si庖代部门晶格上的Si原子构成n型半导体,部门则留在了SiO2中构成PSG。

开元体育官方刻蚀及去PSG工艺及非常处置(图1)

  磷硅玻璃的生计使得PECVD后产增光差,在PECVD工序将使镀的SIxNy轻易产生零落,下降电池的更动效力。

  使用HNO3和HF的夹杂液体对分散后硅片下外表和边沿停止侵蚀,去除边沿的N型硅,使得硅片的左右外表彼此绝缘。

开元体育官方刻蚀及去PSG工艺及非常处置(图2)

  当硅片从HF槽进去时,察看其外表是不是脱水,若是脱水,则解释磷硅玻璃已去除清洁;若是外表还沾有水珠,则解释磷硅玻璃未被去除清洁,可在HF槽中恰当补些HF。

开元体育官方刻蚀及去PSG工艺及非常处置(图3)

  RENAInOxSide的主体分为要点七个槽,另外尚有滚轮、排风体例、主动及手动补液体例、轮回体例和温度掌握体例等。

开元体育官方刻蚀及去PSG工艺及非常处置(图4)

  所用溶液为HF+HNO3+H2SO4,边沿刻蚀,取消边沿PN结,使电流朝统一标的目的活动,产生以下化学反映:

  注重:分散面须进取搁置, H2SO4硫酸不介入反映,只是是增添氢离子浓度,加速反映,增添溶液黏度(增大溶液与PSG薄层间的界面张力)和溶液密度,使硅片很好的浮于反映液上(仅上边沿2美眉摆布和下外表与液体打仗)。

  KOH喷淋中庸前道刻蚀后残留在硅片外表的酸液,去除硅片外表的多孔硅及其杂质,去除分散构成的染色,KOH溶液依托冷却水降温连结在20℃摆布,首要产生以下化学反映:

  HF轮回冲洗喷淋中庸前道碱洗后残留在硅片外表的碱液,去除硅片外表的磷硅玻璃,首要产生以下化学反映:

开元体育官方刻蚀及去PSG工艺及非常处置(图5)

  侵蚀深度是表征电影刻通与否的一个主要参数,经过丈量刻蚀先后电影减薄量,也许计较出侵蚀深度,按照详细丈量环境也许改动工艺参数。

  轨则上温度掌握在8度,普通左右浮动1⑵度,调治梯度为0.5⑴度,温度降低侵蚀深度增添,反之。温度也许动作刻蚀速度的调理手腕,然则这是结尾的手腕。因为温度较高的环境下,刻蚀溶液在刻蚀槽时会不不变,因此普通不宜短工夫跨越10度,今朝咱们的补液能包管刻蚀速度不降落,因此咱们无需调高刻蚀溶液的温度。

  轨则上带速掌握在1.0⑴.5m/min,调治梯度式0.1-0.2m/min,速率越快,侵蚀深度越小,反之。

  调治主动补液的周期和主动补液量(HF HNO3),补液周期越短,补液量越大,侵蚀深度越大,反之。

  也许手动增添化学品(HF HNO3DI水),大部分在侵蚀深度偏向较大时停止手动补液,大部分在换液早期和槽体寿命快到时。

  大概呈现过刻或刻蚀缺乏的环境,普通不跨越2美眉,经过肉眼察看,也可经过冷热探针丈量边沿电压来判定是不是刻通。

开元体育官方刻蚀及去PSG工艺及非常处置(图6)

  热探针和N型半导体打仗时,传导电子将流向温度较低的地区,使得热探针处电子贫乏,因此其电势相比较统一材质上的室温触点而言将是正的。

  此电势差也许用简朴的微伏表丈量。热探针的构造可所以将小的热线圈绕在一个探针的四周,也能够用袖珍的电烙铁。

  3.用冷、热探针打仗硅片一个边缘不相接的两个点,电压表显现这两点间的电压为适值,申明导电表率为P型,刻蚀及格。沟通的方式检测别的三个边缘的导电表率是不是为P型。

  抽风在很大水平上会浸染到刻蚀槽液面颠簸,而刻蚀槽所有的液面颠簸,对在液面上运转的硅片都有很大浸染,抽风对刻蚀线宽浸染很大,调理之前起首要察看好时电影哪条边刻蚀线宽非常再停止响应处置,普通不创议调治。

  另外,片与片之间的间距、滚轴的程度水平、滚轴和内槽槽边高度程度等都市浸染到刻蚀线宽,挖掘此类题目实时告诉相干职员停止处置,包管周围刻蚀平均,无过刻和刻欠亨景色。

  放片方式应严酷依照功课指点书,轻拿轻放在准确处所,多晶156的硅片因为面积较大,若是搁置的处所禁绝确,很轻易形成叠片卡片等,导致硅片在机械中零碎。

  调治喷淋管的处所,至滚轮可以或许滑腻的运转,调治风管和水管的处所,使得电影在经过的时间,不会浸染电影的运转。

  动作工伶人员在出产实践中,若是挖掘机械碎片,一方面应当提示产线职工注重放片范例,削减叠片和歪片;另外一方面,应放哨上述首要处所,实时找到并清算在装备中残留的碎片,根绝更多碎片的发生。

  一、分外散面PN结刻蚀时被去除,背侵蚀太阳电池的后背更平坦,其后背曲射率优于刻边,背侵蚀太阳电池能更有用地使用长波增添Isc。铝背场比刻边的更平均,也许进步IQE,进而进步了太阳电池的Voc。

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